oled中ito薄膜的透过率、厚度应用方案 | 量子荧光|微型光纤光谱仪-ag贵宾会

应用背景

有机发光二极管（organic light-emitting diode，简称oled）又称为有机发光半导体，具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低能耗、极高反应速度等显著的优点。oled通常由多层功能材料成膜镀在基底上所构成，这些功能膜层包括阴阳电极，以及两极间的导电和光发射有机材料。目前，铟锡氧化物（简称ito）有机膜层在oled中得到较多的应用，该类氧化物晶格结构中含有氧原子的缺陷，为自由电子的运动和传输提供了空间，在两电极的作用下，自由电子发生定向运动，从而实现了ito薄膜的导电特性；除能导电外，ito薄膜还具有较高的透光性能，这是由于氧化物中原子键存在间隙，自由电子的密度不高，从而光线可以穿透ito薄膜的结果。因此， oled的光电性能与ito薄膜的透过率密切相关，一般要求可见光区域的透过率高于80%。另一方面，薄膜的厚度势必会对光在其中的透过率产生影响，当厚度大于70nm时，透过率将减小。因而在oled的生产和研发过程中，ito导电膜的透过率以及厚度是需要被准确检测和表征的。

         oled结构                                        oled应用于显示屏

应用测量原理介绍

ito薄膜的测量应用包括其在可见光波段的透过率以及薄膜的厚度。测量原理分别介绍如下：

透过率：透过是光线在物质中不同于反射和吸收的一种行为方式，透过率为穿过物质的光强相对于原始光强的百分比。

薄膜厚度：薄膜厚度的测量是基于光波的干涉现象，具体可表述为光束照射在薄膜表面，由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉，从而形成干涉光，这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测，结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。

微型光纤光谱仪优势:

微型光纤光谱仪在ito薄膜检测中，具有以下显著的优势：

1. 体积小巧，适合原位在线监测。 3. 低成本；
2. 易于操作、控制。             4. 快速测量全谱。

海洋光学推荐应用配置

1. ito薄膜透过率检测

海洋光学的微型光纤光谱仪，在配置采样平台stage-rtl以及光源后即可应用于ito薄膜的透过率检测。具体配置如下：

薄膜透过率测量系统配置

不同汽车玻璃在uv-vis-nir及nir波段的透过率

2.  ito薄膜膜厚检测

海洋光学nanocalc膜厚仪检测系统，配置有采样平台、uv-vis反射探头，可应用于ito薄膜的膜厚检测。具体配置如下：

薄膜厚度测量系统配置

nanocalc膜厚仪系统参数

薄膜材料厚度测量结果举例