等离子体应用ag真人国际官网的解决方案 | 量子荧光|微型光纤光谱仪-ag贵宾会

等离子体检测可以为样品提供详细的元素分析，并可确定在等离子体产生过程中所需的关键参数。发射线可识别等离子体中存在的元素，发射线强度用于实时量化粒子和电子密度。

气体混合物、等离子体温度和颗粒密度等参数对于控制等离子体过程都是至关重要的。通过向腔室引入各种气体或颗粒来改变这些参数，将在改变等离子体特性的同时，也会影响等离子体与基板的相互作用。监测和控制等离子体可改善工艺和成品。

等离子体检测方法

等离子监测可以通过灵活的模块配置，flame系列光谱仪与余弦校正器和抗老化光纤结合使用，在180°视场范围内从腔室中形成的等离子体获取定性发射谱数据，从oceanview软件上可以得到对应的光谱。

flame微型光纤光谱仪

flame系列微型光纤光谱仪小巧坚固，大幅改进了内部设计，并集成了自动化生产工艺，在热稳定性与台间一致性方面领先同级产品。flame-s-xr1覆盖范围200-1025nm，光学分辨率1.69 nm，积分时间1ms-65s，狭缝25μm，像素2048个，a/d转换16位。

qp系列抗紫外老化光纤

qp系列高级光纤集合是耐用，高质量的配件，在信号发生微小变化时，仍能获得一致的结果。锈钢铠装加蓝色硅胶包裹的外包材料使光纤在使用过程中有较好的化学与机械耐受力。光纤末段是易于操作的金属接口----高精密度的sma连接器，提供更好的耦合效率。另外，抗紫外光纤内部采用高羟基材质，可以保证紫外波段的信号不会对光纤本身造成不可逆的破坏，从而导致透光率降低。qp400-sr系列光纤采用400微米纤芯，光纤长度2米，覆盖波段200-1100nm，外包材料为不锈钢铠装加蓝色硅胶包裹，弯曲半径16cm。

cc-3余弦校正器

余弦校正器可与光纤和光谱仪连接，用于相对光谱强度和绝对光谱强度测量、发射光谱测量，以及对led光源和激光光源进行分析。cc-3-uv-s余弦校正器的散射材料是spectralon (200-2500 nm) ，它位于不锈钢套管的末端，视场角为180°，。

libs-coll准直镜

libs-coll准直镜与光纤相连，可以扩大光纤的视场角从而接收更多的光信号。准直镜材质为熔融石英，接口型号为sma905接口，视场角180°，覆盖范围185-2500nm。

oceanview光谱分析软件

oceanview是海洋光学的旗舰级光谱应用软件，支持windows，mac os和linux系统，兼容海洋光学现有所有光谱仪。内置大量应用向导，能引导客户完成复杂的光谱应用测试（吸光度、透过率、反射率、荧光、拉曼、辐射测量等）。只需选择所需测量应用，软件会一步步引导，让您轻松地完成系统设置和数据采集。

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