半导体加工面临的挑战｜海洋光学-ag贵宾会
从等离子体监测到刻蚀终点检测，海洋光学提供紧凑型光谱传感ag贵宾会的解决方案，以优化半导体制造工艺。优势：加快产品上市时间，提高生产效率，改善产品质量。
利用光谱学监控半导体生产过程
我们与一家半导体过程控制设备的全球供应商合作，将海洋光学小巧、坚固的光谱仪集成到该供应商的刻蚀监测系统中。我们提供的高分辨率、热稳定性优异的光谱仪可为用户提供准确、可靠的工艺偏差反馈，有助于减少误差，提高生产效率。
在本白皮书中，我们介绍了将光谱仪集成到客户系统中的步骤，从而在时间和温度变化的情况下获得可靠、高分辨率的结果。这一点非常重要，部分原因是光谱波长漂移会产生测量误差，而这些误差会传导到客户用于控制关键工艺的算法建模中。
| 光谱仪提高产量和质量 | ||||
| hr 系列光谱仪 | sr 系列光谱仪 | st 显微光谱仪 | ||
| 主要功能 | 高分辨率、高热稳定性、近红外响应 | 采集速度快、功能多、紫外响应快 | 超紧凑，良好的紫外响应 | |
| 测量技术： | 吸光度、辐照度、oes、反射率 | 吸光度、辐照度、oes | 吸光度、荧光、辐照度 | |
| 半导体应用实例： | 终点检测、等离子体监测、质量控制 | 高亮度应用、材料研究 | 集成到空间有限的设备中 | |
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