等离子体 | 量子荧光|微型光纤光谱仪-ag贵宾会

前途的绿色环保型催化剂已成为研究的热点, 但是tio2 薄膜的这些功能都以获得锐钛矿晶型为前提.无定型tio2 薄膜由于其耐化学腐蚀性?光散射特性?电绝缘特性等, 在化学?生物?光学?电学等方面都显示出很好的应用前景[1,2].关于在低温等离子体条件下沉积无定型tio2 薄膜的研究已经有较多的报道[3-6] , 但是关于脉冲偏压对低温等离子体沉积tio2 薄膜的研究较少[7,8],特别是对于射频等离子体的偏压的研究更少, 大多数的研究者往往以射频输入电极上产生的自偏压来代替绝缘基片薄膜沉积一侧的偏压, 而实际上两者是存在差别的[9,10] .本文在射频等离子体增强化学气相沉积tio2 薄膜的情况下, 对同一沉积过程中远离射频输入电极的基片上加脉冲偏压和不加脉冲偏压的情况下的成膜进行了比较, 发现tio2 薄膜的表面形貌?光学特性等都存在着明显的不同.

激光诱导击穿光谱（laser-induced breakdown spectroscopy,简称libs）是一种利用高能脉冲激光与材料相互作用产生的等离子发射光谱进行元素分析的新技术。它是伴随着激光器的发明而诞生的。在1960年theodore maiman发明了世界上第一台激光器,之后不久,brech和cross就在固体样品表面发现了激光诱导的等离子体。早期,激光主要作为一种交叉激发的火花光源。在1963年, debras guedon和liodec意识到可以不用火花,直接将激光诱导产生的等离子体用于光谱分析,紧接着第二年,marker、meyerand、haught等人第一次观测到在气体中的激光诱导光谱。但真正意义上利用激光诱导击穿光谱对样品所含元素进行定性定量分析的是runge等人在1964年所作的工作,他们利用脉冲q开关红宝石激光器诱导三个含量己知的含铬、镍的不锈钢样品,获得了它们的定标曲线,进而测得了不锈钢种铬和镍的含量,相对精度分别为5.3%和3.8%。这时,激光诱导击穿光谱的基本概念和架构已经被研究人员所掌握。但是在应用推广之前,还有很多技术问题需要不断的完善。