光纤光谱仪因其快速、无损、原位测量的特点,在半导体行业广受青睐。海洋光学作为微型光纤光谱仪的发明者,在此领域也积累了一定的经验。从等离子体刻蚀到晶圆膜厚测量,光纤光谱仪都有一定的应用。下面,为您带来光纤光谱仪测量晶圆膜厚的应用ag真人国际官网的解决方案。
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